代理韩国MKP进口质量流量控制器 韩国进口质量流量计TSM-D250   韩国进口质量流量计TSM-D250    韩国进口质量流量计TSM-D250  

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MKP韩国原装质量流量计数字型大流量质量流量控制器

系列是采用数字控制回路，即使大流量也保证了响应和高准确度，可以选择多种附加功能。

多气体多量程质量流量控制器 韩国MKP MARU5000

MKP质量流量控制器（Mass Flow Controller）

多量程、多气体

MARU 5000质量流量控制器

MARU 5000质量流量控制器是严格按照SEMI工艺制造，适用于各类半导体或高纯气体要求的工艺，采用数字通讯回路，便于诊断和实时控制，具有良好的抗腐蚀性功能，可以使用不同的气体。

MKP韩国原装质量流量计优势：

通过表面EP处理，产品有抗腐蚀性

由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定

模拟与数字通讯都可用（Analog,RS485，DeviceNet ,Profibus）

MGMR功能（多气体，多量程）

产品参数：

MARU 5000  量程范围5sccm-50slm

流量测定范围：2%-*满量程

精度：≤±0.35%满量程（5%-35% Flow Range）/≤±1%读数（35%-* Flow Range）

响应时间：<1sec

重复性：≤±0.15%满量程

正常工作压力：50-300Kpa

大工作压力：450Kpa

零点稳定性：<±0.5%F.S./年

温度系数：0.01%满量程/℃

泄漏率：1X10-11Pa.m³/sec（He）

阀门类型：常闭

密封形式：金属

数字接口：RS485，DeviceNet ,Profibus

信号类型：模拟0-5V，数字RS485，总线Devicenet、Profibus

电源：+15-24VDC

温度范围：5-50℃

预热时间：30min

材质：STS-316L电解抛光/真空退火（0.1ｕm Ra）

以下是MKP型号
质量流量控制器
VIC-D210，VIC-D220，VIC-D240，VIC-D245，VIC-D145，VIC-D150
气体质量流量计MFC
TSM-D200，TSM-D210，TSM-D220，TSM-D230，TSM-D240，TSM-D245，TSM-D250，TSM-D220D
质量流量计
TSC-220，TSC-210，TSC-245，TSC-200，TSC-230，TSC-145，TSC-150，TSC-120
TSC145-8SW-N2-1000L，TSC150-16SW-N2-2000L